潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論。FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實(shí)踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進(jìn)，對是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關(guān)注。
一、氣流速度 
1、有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用 　　
潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是： 
（1）室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大；
（2）室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層；
（3）自凈時間(恢復(fù)時間)的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設(shè)備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復(fù)到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度;對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下)，對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力；
（4）末級過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較率的過濾器以降低氣流速度;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積zui?。?br />（5）經(jīng)濟(jì)性考慮：過大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果；
（6）對潔凈度要求低的潔凈室，有時換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。 　　
以上因素，皆很難量化，只能分析對比并估計(jì)。因此在工程應(yīng)用中，對潔凈室的氣流速度往往參照有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值，再按具體情況估計(jì)以上各影響因素進(jìn)行綜合考慮后確定。 　
氣流速度用于單向流潔凈室；非單向流潔凈室宜用換氣次數(shù)，因?yàn)槠錃饬魉俣入y于測準(zhǔn)；亦有用末級過濾滿布率來反映的，可用于各種氣流流型的潔凈室，一般滿布率100%相對于流速0.5m/s(100fpm)，25%相對于0.125m/s(25fpm)。
注：
1、ISO14644-4對于氣流速度/換氣次數(shù)是明確作為參考資料的，表中所列僅適用于微電子及IC工廠;對制藥廠只列ISO5級氣流速度>0.2m/s，對ISO6～8級皆未列出參考值； 　　
2、(M)指混合流，N指非單向流，*指對污染源已采取有效的隔離措施的潔凈區(qū)。如ISO/DIS14664-4提出的數(shù)值皆明確適用于那類潔凈室的。IEST的推薦值亦是被一些機(jī)構(gòu)認(rèn)為僅適用于半導(dǎo)體工廠。由于具體情況變化較大，有的經(jīng)驗(yàn)值可能已不適合當(dāng)前的室內(nèi)塵源控制措施及過濾器效率提高的情況。 
3、對有關(guān)推薦或參考值的討論 
近年來不少人通過實(shí)驗(yàn)認(rèn)為這些推薦或參考值過于保守，其論點(diǎn)可歸納為： 　　
（1）潔凈室內(nèi)氣流的橫向擴(kuò)散只在甚低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下，流速0.05～0.1m/s就足夠帶走污染物，在此流速下亞微米粒子的擴(kuò)散性能遠(yuǎn)低于對流性能;而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流，引起污染物的再卷入。因此，潔凈室的理想自凈時間Tr=體積/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大氣流速度，實(shí)際的Tr并不再有明顯的減少；
（2）末級過濾器的效率對潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當(dāng)前HEPA/ULPA的效率從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡釋原理的潔凈室內(nèi)含塵濃度穩(wěn)定公式可以得出： 　　
（a）室內(nèi)發(fā)塵量較高時，末級過濾器效率的變化對潔凈度影響甚微，因此在這種情況下，過高的過濾效率是無必要的；　　
（b）室內(nèi)發(fā)生塵量較低的情況下，采用低的氣流速度下，末級過濾器效率的變速器變化，對潔凈度的影響增大。 　　
有關(guān)數(shù)據(jù)：
新風(fēng)進(jìn)末過濾器前的含塵濃度1.75×106個/m3 　　
室內(nèi)發(fā)生量：G1=350個/m3.min G2=3500個/m3.min G3=35000個/m3.min G4=350000個/m3.min 　　
新風(fēng)量對于全空氣量的比率0.03。 　　
當(dāng)前有的IC工廠其ISO5級(0.3μm)的潔凈室，采用FFU系統(tǒng),帶ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口風(fēng)速為0.38m/s，其滿布率為25%，這樣室內(nèi)平均氣流速度為0.095m/s，在各有關(guān)推薦或參考值的下限下。此潔凈室的工藝加工在微環(huán)境內(nèi)潔凈室內(nèi)的人員亦較少，可以認(rèn)為潔凈室內(nèi)發(fā)生較低，這種情況下采用低的氣流速度可能是可取的。 　　
據(jù)報(bào)道，目前IEST對潔凈室內(nèi)氣流速度推薦值的下限有所降低，如：≤ISO5級：氣流速度0.2～0.5m/s; ISO6級或5級(非單向流);換氣次數(shù)>200次/h; ISO7級：換氣次數(shù)20～200次/h; ISO8級：換氣次數(shù)2～20次/h。
二、FFU系統(tǒng)的應(yīng)用 　　
1、當(dāng)前FFU的情況 　　
FFU在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實(shí)踐證明無可擔(dān)心。當(dāng)前其改進(jìn)主要是： 　　
（1）采取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內(nèi)；
（2）電動機(jī)采用DC/EC(電子整流電機(jī))，以耗較原交流電機(jī)節(jié)約近50%，因?yàn)樾★L(fēng)機(jī)所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機(jī)，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機(jī)的效率可達(dá)75～80%;在調(diào)速控制上可每臺單獨(dú)的以過濾器降壓進(jìn)行控制以節(jié)約能耗，但目前投資回收期尚長而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控；　
（3）但FF瓣出口靜壓不能過大，一般采用出口風(fēng)速成0.38m/s，此時其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。 　　
2、FFU回風(fēng)系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點(diǎn) 　　
2.1一般評價 　　
優(yōu)點(diǎn)： 　
（1）靈活性大，便于改造；
（2）占用建筑物空間較少；
（3）潔凈室內(nèi)空氣壓力大于回風(fēng)靜壓室，排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。 　　
缺點(diǎn)： 　　
（1）要求回風(fēng)道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風(fēng)道)、干表冷器阻力及末級過濾器的阻力(在初阻力時)，總共應(yīng)控制在165Pa左右，以滿足運(yùn)行時zui大阻力在250Pa以內(nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風(fēng)道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風(fēng)道阻力在15Pa以內(nèi)，否則就需要再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點(diǎn)；　　
（2）采用DC/EC電機(jī)后，單位風(fēng)量的能耗可能比當(dāng)前一般大型離心風(fēng)機(jī)的集中系統(tǒng)為低，但已有研究指出，比采用改進(jìn)后的大型軸流風(fēng)機(jī)的回風(fēng)系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風(fēng)機(jī)的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素；　
（3）一般FFU系統(tǒng)由于單位風(fēng)量的能耗較大，因此潔凈室的冷負(fù)荷亦相應(yīng)增加。 　　
2.2具體情況下的評價 　　
（1）FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可??；　　
（2）潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的；對小系統(tǒng)有意義作具體比較；　
（3）對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。